洁净度等级(ISO 14644标准):
ISO 5级(百级):换气次数≥300次/h(单向流)
ISO 8级(十万级):换气次数10-20次/h(非单向流)
温湿度要求:如半导体车间需22±1℃/45±5%RH。
污染物特性:颗粒物、VOCs、微生物等,决定过滤等级(HEPA/化学过滤器)。
单向流(层流):
顶送侧回:高效过滤器覆盖顶棚≥80%,侧墙底部回风,适用于百级以上洁净室。
风速控制:垂直单向流通常0.3-0.5m/s,水平单向流0.4-0.6m/s。
非单向流(乱流):
高效送风口+分散回风:适用于低等级洁净区,换气次数通过稀释效应达标。
换气次数法:
风量(m³/h)= 换气次数 × 房间体积(m³)
例如:100m³的ISO 7级车间,按50次/h计算,需5000m³/h风量。
污染物稀释法:
适用于有化学污染的车间,根据污染物释放速率和目标浓度反算风量。
洁净梯度:
不同等级区域压差维持5-15Pa(如核心区>缓冲区>走廊>外界)。
风量平衡:
通过变频风机或定风量阀(CAV)调节送/排风量,确保正压或负压需求。
空调机组(AHU):
冷热盘管、加湿段、初中效过滤段集成。
风量需预留10%-15%余量。
风机过滤单元(FFU):
百级以上洁净室按覆盖率≥25%布置,变频控制节能。
排风系统:
局部排风罩(如工艺设备)需独立管道,避免交叉污染。
风速检测:
使用风速仪在送风口测多点风速,计算平均风量(如FFU需≥0.45m/s)。
风量平衡调试:
通过风阀调节各支管风量,确保总送风量≥设计值。
烟雾试验:
观察气流是否覆盖全区域,避免死角(如设备背后)。
压差传感器:
实时监控区域压差,异常时自动调节风机频率。
粒子计数器:
验证换气次数是否满足洁净度(如动态条件下粒子浓度达标)。
备用风机:
关键区域设置备用机组,避免停机导致换气不足。
变频控制:
根据实际负荷调节风量,既节能又保障最低换气次数。
问题 | 原因 | 解决方案 |
---|---|---|
换气次数不足 | 风管阻力大/过滤器堵塞 | 清洗过滤器,优化风管布局(减少弯头) |
洁净区压差波动 | 门窗泄漏/排风量不稳定 | 密封缝隙,排风系统独立控制 |
局部颗粒物超标 | 气流组织不合理 | 调整送风口位置或增加FFU覆盖率 |
电子行业:
设计重点:防静电、高换气次数(300次/h以上),FFU全覆盖。
案例:某芯片厂采用MAU+FFU+干盘管,换气次数通过风速实时反馈调节。
制药行业:
设计重点:无菌环境,A级区单向流,回风墙设H13-14级HEPA。
CFD模拟:
通过流体力学软件(如ANSYS Fluent)预演气流分布,优化送/回风口位置。
BIM集成:
协调风管与工艺设备布局,避免空间冲突。
通过以上方法,可确保通风系统既满足换气次数要求,又能实现能耗与洁净度的平衡。实际项目中需结合第三方验证(如PQ性能确认)持续优化。